MEMS氨气传感器

MEMS氨气传感器的微热板是利用MEMS工艺制作的,采用金属氧化物半导体材料作为气敏材料。当环境空气中有氨气气体存在时,MEMS氨气传感器的电导率会发生变化。氨气气体的浓度越高,MEMS气体传感器的电导率就越高。该NH3传感器使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

  • 气体类型: 氨气

产品介绍:

MEMS氨气传感器的微热板是利用MEMS工艺制作的,采用金属氧化物半导体材料作为气敏材料。当环境空气中有氨气气体存在时,MEMS氨气传感器的电导率会发生变化。氨气气体的浓度越高,MEMS气体传感器的电导率就越高。该NH3传感器使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

产品参数:

氨气检测范围:0-300ppm

回路电压Vc:≤24V DC

加热电压VH:2.8V士0.1V AVorDC

负载电阻RL:可调

加热电阻RH:80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH:≤80mW

敏感体电阻Rs:1KΩ~30KΩ

灵敏度S:RO/RS≥2

浓度斜率a:≤0.9

温度:20°C士2°C

湿度:55%RH土5%RH

标准测试电路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V

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