MEMS气体流量传感器：在微小尺度上“聆听”气体的流动

MEMS气体流量传感器，是基于微机电系统技术制造的气体流量测量器件。它的核心传感结构采用半导体工艺在硅基材料上加工而成，尺寸通常为微米级别，集成了微型加热器、温度传感器和信号处理电路，能够将气体流速转化为可精确测量的电信号。